特許
J-GLOBAL ID:200903038718829812

基板外観検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-309092
公開番号(公開出願番号):特開平6-260800
出願日: 1993年12月09日
公開日(公表日): 1994年09月16日
要約:
【要約】【目的】 センサを用いて基板に実装された電子部品の有無や位置ズレを検査する基板外観検査装置に関し、位置ズレ検査精度が悪く、また精度を上げるためには検査時間が長くなるという課題を解決し、電子部品の有無や位置ズレが高精度に、しかも効率良く検査を行うことが可能な基板外観検査装置を提供することを目的とする。【構成】 レーザー光を投射して測定するセンサ10と、レーザー光の光路を変換する屈折体と、電子部品5上を走査する走査部と、走査部と屈折体の駆動を制御する制御部と、レーザー光を受光して電子部品5の有無や位置ズレなどの判定を行う判定部からなる構成とすることにより、センサ10から出るレーザー光が電子部品5上を1回走査するだけでその外形を読み取り、装着状態を正確に、しかも効率良く判断して検査することができる。
請求項(抜粋):
レーザー光を被検査物に照射すると共にその反射光を受光レンズを用いて光電変換素子に集光するセンサ部と、このセンサ部から照射されるレーザー光の光路上に自転自在に設けられレーザー光の光路を変換する光路変換部と、上記センサ部を結合しプリント基板上に実装された電子部品を走査する走査部と、あらかじめ記憶された情報により上記走査部と光路変換部を制御する制御部と、上記センサ部に接続されてセンサ部で検出した変位出力を補正する補正部と、この補正部の出力により電子部品の有無や位置ズレなどの判定を行う判定部からなる基板外観検査装置。
IPC (5件):
H05K 13/08 ,  B23P 21/00 305 ,  G06F 15/64 ,  G06F 15/64 325 ,  G06F 15/62 405
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開昭63-128242
  • 特開平3-229500
  • 特開平4-086548

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