オゾン水水素水発生方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-114070
公開番号（公開出願番号）：特開平11-267652
出願日： 1998年03月21日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：

【要約】【課題】従来の電解オゾン水水素水発生装置では、ガス溶解純水中のコンタミネーションレベルが高く最近の半導体における高密度化に伴う洗浄の安定化に対し対応出来なかった。【解決手段】電解により生成したガスを一旦陽極水又は陰極水から分離し、再度純水に溶解することで、安定に、高純度なガス溶解純水を得る。

請求項（抜粋）：

その両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、陰極物質を密着配置させたパーフルオロカーボン系陽イオン交換膜を固体電解質とし、陽極側に純水を供給して電解する事により陽極側よりオゾンガス及び/又は酸素ガスを、又、陰極側より水素ガスを生成する電解オゾン水素ガス発生装置において、該オゾンガス及び/又は該酸素ガスを陽極液から分離し、分離したオゾンガス及び/又は酸素ガスを溶液と接触させ、該溶液にオゾンガス及び/又は酸素ガスを溶解させることを特徴とするオゾン水水素水発生方法。

IPC (5件)：

C02F 1/46 , C01B 3/02 , C01B 13/10 , C25B 1/04 , B01F 1/00

FI (5件)：

C02F 1/46 Z , C01B 3/02 H , C01B 13/10 D , C25B 1/04 , B01F 1/00 A

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