特許
J-GLOBAL ID：200903038759064537
剥離装置及び電子部品収納方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-248198
公開番号（公開出願番号）：特開2003-054514
出願日： 2001年08月17日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：
【要約】【課題】 電子部品をシート部材から効率良く剥離できるようにすると共に、その静電破壊を防止できるようにする。【解決手段】 シート部材3の一方の面に保持された半導体装置50を当該シート部材3から剥がす剥離装置100において、この半導体装置50を保持したシート部材3の特定領域5を吸着するバックステージ20と、このバックステージ20に可動自在に係合され、かつ、当該バックステージ20に吸着されたシート部材3の他方の面から半導体装置50を突き剥がす針部30とを備えたものである。シート部材3を半導体装置50の突き剥がす方向と反対の方向に吸着させたまま、半導体装置50をシート部材3から引き離すことができるので、半導体装置50を手作業で扱う場合と比べて、半導体装置50の剥離作業の効率を高めることができると共に、その静電破壊を防止できる。
請求項（抜粋）：
シート部材の一方の面に保持された電子部品を当該シート部材から剥がす剥離装置において、前記電子部品を保持したシート部材の特定領域を吸着する部材吸着手段と、前記部材吸着手段に可動自在に係合され、かつ、当該部材吸着手段に吸着された前記シート部材の他方の面から前記電子部品を突き剥がす剥離手段とを備えたことを特徴とする剥離装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65B 15/04 M
, H01L 21/50 C
