試料作製装置

発明者： , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-176475
公開番号（公開出願番号）：特開2002-365182
出願日： 2001年06月12日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】真空容器内の圧力の増加や汚染が無く数μmの試料片が固着されるTEMホルダの導入手段を備え、迅速な観察を可能とする試料室容積が小さい、大口径ウエハ用の試料作製装置を提供する。【解決手段】試料を載置する試料ステージと、荷電粒子ビーム照射光学系と、荷電粒子ビームの照射によって発生する二次粒子を検出する二次粒子検出手段と、該試料から試料片を分離する試料片分離手段と、該試料を収納するカセットと、該カセットから該試料を該試料ステージに移載する試料移載手段と、該試料片を固定する試料ホルダと該試料ホルダを固定する試料載置部と該試料載置部を保持し、試料ステージ本体部と脱着可能な構成から成るカートリッジと、該カートリッジを収納するカートリッジステーションと、該カートリッジステーションから所望の該カートリッジを該試料ステージ上に、該容器の外部から移載する移載手段を備える。

請求項（抜粋）：

容器と、該容器内に収納される試料を載置する試料ステージと、荷電粒子ビーム照射光学系と、荷電粒子ビームの照射によって発生する二次粒子を検出する二次粒子検出手段と、該試料から試料片を分離する試料片分離手段と、該試料を収納するカセットと、該カセットから該試料を該試料ステージに移載する試料移載手段を備えた試料作製装置において、該試料片を固定する試料ホルダと該試料ホルダを固定する試料載置部を保持し、かつサイドエントリ型試料ステージ本体部と脱着可能であるカートリッジと、該カートリッジを収納するカートリッジステーションと、該カートリッジステーションから所望の該カートリッジを該試料ステージ上に移載する移載手段を備えたことを特徴とする試料作製装置。

IPC (6件)：

G01N 1/28 , G01N 23/04 , G01N 23/225 , H01J 37/20 , H01J 37/30 , H01L 21/3065

FI (6件)：

G01N 23/04 , G01N 23/225 , H01J 37/20 B , H01J 37/30 Z , G01N 1/28 F , H01L 21/302 D

Fターム (37件)：

2G001AA03 , 2G001BA11 , 2G001CA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA01 , 2G001PA11 , 2G001PA16 , 2G001QA01 , 2G001QA02 , 2G001QA10 , 2G001RA04 , 2G001RA20 , 2G052AA13 , 2G052AD32 , 2G052AD52 , 2G052CA03 , 2G052CA04 , 2G052CA05 , 2G052CA07 , 2G052DA31 , 2G052DA33 , 2G052EC14 , 2G052EC18 , 2G052GA34 , 2G052HC15 , 2G052HC35 , 5C001AA01 , 5C001AA02 , 5C001CC03 , 5C001CC08 , 5C001DD01 , 5C034AA02 , 5F004BA17 , 5F004BB20 , 5F004BC06 , 5F004EA39

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第2774884号
試料作製装置および試料作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-333681 出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (1件)

特許第2774884号

前のページに戻る