特許
J-GLOBAL ID：200903038773891608
光学薄膜及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-321324
公開番号（公開出願番号）：特開平7-151906
出願日： 1993年11月26日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】 屈折率の低いフッ化アルミニウムの光学薄膜をスパッタリングにより安定して形成できる製造方法を提供する。【構成】 スパッタリングのターゲットとしてフッ化アルミニウムとフッ化物との混合物を用いる。
請求項（抜粋）：
スパッタリングのターゲットとしてフッ化アルミニウムとフッ化物との混合物を用いることを特徴とする光学薄膜の製造方法。
IPC (3件)：
G02B 1/11
, B29D 11/00
, C23C 14/34
