特許

J-GLOBAL ID：200903038776082450

ポジ型感放射線性樹脂組成物

発明者： 梶田 徹 ,  平岡 良一 ,  大田 利幸 ,  辻 昭
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-140944
公開番号（公開出願番号）：特開平7-325395
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：

【要約】【目的】 各種の放射線に有効に感応し、特にフォーカス許容性が優れるとともに、感度、解像度、現像性、パターン形状、耐熱性等にも優れた、レジストとして有用なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 a)オルト、オルト2官能性フェノール、例えばパラクレゾールb)オルト、パラ2官能性フェノール、例えばオルトクレゾールc)3官能あるいは4官能性ビスフェノール類、例えばビスフェノールAをアルデヒド類と重縮合したノボラック樹脂およびキノンジアジド化合物を含有してなるポジ型感放射線性樹脂組成物である。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂と感放射線性化合物を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂が、式(1)で示される2官能性フェノール【化1】(式中、R1は、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数3〜8のシクロアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシル基、炭素数6〜9のアリール基、炭素数6〜9のアリールオキシ基、炭素数7〜12のアラルキル基または炭素数7〜12のアラルキルオキシ基を示し、R2およびR3は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数6〜9のアリール基または炭素数7〜12のアラルキル基を示す。)、式(2)で示される2官能性フェノール【化2】(式中、R4は、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数3〜8のシクロアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシル基、炭素数6〜9のアリール基、炭素数6〜9のアリールオキシ基、炭素数7〜12のアラルキル基または炭素数7〜12のアラルキルオキシ基を示し、R5およびR6は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数6〜9のアリール基または炭素数7〜12のアラルキル基を示す。)および式(3)で示される3官能性または4官能性ビスフェノール【化3】(式中、R7〜R10は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシル基、炭素数6〜9のアリール基または炭素数7〜12のアラルキル基を示す。ただし、R7〜R10のうちの少なくとも3個は水素原子である。R11〜R14は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシル基、炭素数6〜9のアリール基または炭素数7〜12のアラルキル基を示す。Aは、単結合、-O-、-S-、-CO-、-SO-、-SO2-、式(4)または式(5)で示される2価の基であり、【化4】R15〜R20は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のポリフルオロアルキル基、炭素数6〜9の置換および非置換アリール基または炭素数7〜12のアラルキル基を示し、R15とR16が互いに結合した炭素数3〜6のアルキレン基であってもよい。)からなるフェノール類とアルデヒド類とを重縮合して得られるアルカリ可溶性ノボラック樹脂であることを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/023 511 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027