複数軸動力伝達装置およびウエハ搬送用アームリンク

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大垣孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-217135
公開番号（公開出願番号）：特開平11-313477
出願日： 1998年07月31日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】パーティクルの発生がなく、アウトガスが少なく、気密度が高く、位置精度が高く、しかも、メンテナンスが容易な単純構造であって、高スループットが実現できるものを実現する。【解決手段】アーム軸12は、隔壁としての第2中固定軸34および第1中固定軸50と、第1回転体31aおよび31bと、第2回転体33aおよび33bとにより構成される。上述の隔壁により大気側雰囲気と減圧雰囲気とが隔絶される。第1回転体は、大気側雰囲気内に複数個の磁石を保持した状態で設置される。第2回転体は、減圧雰囲気内に第1回転体に磁気的に結合する複数個の磁石を保持した状態で設置される。第1および第2回転体は、これら回転体が同軸52に関して回転自在となるように、上述の実質的に一体構造の隔壁に軸受け56、60、66、70を介して支持されている。

請求項（抜粋）：

雰囲気の異なる空間を隔絶する一体構造の隔壁と、大気側雰囲気内に複数個の磁石を保持した状態で設置される複数個の第1回転体と、大気側雰囲気と異なる雰囲気内に前記第1回転体に磁気的に結合する複数個の磁石を保持した状態で設置される複数個の第2回転体とを具えた複数軸動力伝達装置において、前記第1および第2回転体は、これら回転体が同軸に関して回転自在となるように、前記隔壁に軸受けを介して支持されていることを特徴とする複数軸動力伝達装置。

IPC (7件)：

H02K 49/10 , B25J 9/06 , B25J 17/00 , F16D 7/02 , H01L 21/027 , H01L 21/68 , B65G 49/07

FI (7件)：

H02K 49/10 A , B25J 9/06 D , B25J 17/00 H , F16D 7/02 C , H01L 21/68 A , B65G 49/07 D , H01L 21/30 502 J

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭61-069365
特開昭60-116960
高真空用アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-036728 出願人：株式会社日立製作所

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