特許
J-GLOBAL ID：200903038784634500
マイクロマシーン
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-216915
公開番号（公開出願番号）：特開平5-054782
出願日： 1991年08月28日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：
【要約】【目的】 駆動源となる固定電極層と、この固定電極層に対向して配置された可動片の構造を改良することにより、駆動源となる静電吸引力を増やして現状サイズよりもさらに小さい静電式リレー等を作製させることを実現するマイクロマシーンを提供することにある。【構成】 電気絶縁性の基板主面に形成される固定電極層と、この固定電極層に対向して配置されて可動する半導体単結晶からなる可動片を備えて、上記固定電極層と上記可動片の対向する表面を少なくとも一方を特殊加工して凹凸部のパターンを作成する。上記固定電極層と上記可動片によって駆動用対向電極を構成し、この駆動用対向電極間に直流電圧を印加することで起こる静電吸引力を増大させたことを特徴とするマイクロマシーン。
請求項（抜粋）：
電気絶縁性の基板主面に形成される固定電極層と、この固定電極層に対向して配置されて可動する半導体単結晶からなる可動片を備え、上記固定電極層と上記可動片によって駆動用対向電極を構成し、上記駆動用対向電極間に直流電圧を印加することで起こる静電吸引力を持って駆動するマイクロマシーンにおいて、上記固定電極層と上記可動片の対向する表面の少なくとも一方を凹凸加工していることを特徴とするマイクロマシーン。
IPC (2件)：
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