特許
J-GLOBAL ID:200903038785463946

レリーフ型回折光学素子、それを用いた光学系、およびレリーフ型回折光学素子製造用の型

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉村 暁秀 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-047782
公開番号(公開出願番号):特開平10-239508
出願日: 1997年03月03日
公開日(公表日): 1998年09月11日
要約:
【要約】【課題】 集光点での強度が高く、かつ容易に製造できるレリーフ型回折光学素子を提供する。【解決手段】 不等間隔格子パターン2を有するレリーフ型回折光学素子1において、1つのゾーン内のレリーフ面の傾き角が異なる箇所を有する傾斜した断面を示す第1のゾーン群と、1つのゾーン内のレリーフ面の傾き角が一定に傾斜した直線の断面を示す第2のゾーン群とを有し、ピッチが最も大きいゾーンが前記第1のゾーン群に含まれる断面形状を有することを特徴とする。
請求項(抜粋):
不等間隔格子パターンを有するレリーフ型回折光学素子において、1つのゾーン内のレリーフ面の傾き角が異なる箇所を有する傾斜した断面を示す第1のゾーン群と、1つのゾーン内のレリーフ面の傾き角が一定に傾斜した直線の断面を示す第2のゾーン群とを有し、ピッチが最も大きいゾーンが前記第1のゾーン群に含まれる断面形状を有することを特徴とするレリーフ型回折光学素子。

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