特許
J-GLOBAL ID：200903038785625903
力検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-031833
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201190
出願日： 1995年01月30日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【目的】 運動を伴う種々の機器等にかかる力、例えば、加速度、圧力、磁気等の物理量を高感度で検出する力検出装置を得る。【構成】 力の作用を受ける起歪体とこの起歪体の歪量に応じて電気抵抗値を変化させる抵抗素子とを備え、この抵抗素子が起歪体の表面に固定された第一部分と、起歪体の表面から離れた第二部分とを有する。
請求項（抜粋）：
力の作用を受ける起歪体と、この起歪体への力の作用による機械的な歪量に応じて電気抵抗値を変化させる抵抗素子とを備えた力検出装置であって、前記抵抗素子は、前記起歪体の表面に固定された第一部分と、前記起歪体の表面から離れた第二部分とを有するマイクロブリッジ状の構造を備えていることを特徴とする力検出装置。
IPC (4件)：
G01L 1/18
, G01L 9/04 101
, G01P 15/12
, H01L 29/84
