特許

J-GLOBAL ID：200903038790291363

半導体式ガスセンサー

発明者： 八島 勇 ,  北原 暢之 ,  能登谷 正之 ,  佐藤 博 ,  辰元 克充
出願人/特許権者： 三井鉱山株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-196829
公開番号（公開出願番号）：特開平5-072163
出願日： 1991年08月06日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：

【要約】【目的】 従来検知困難であった半導体製造用原料ガス等を酸化性、還元性、腐食性雰囲気中で測定する。【構成】 基板2上にダイヤモンド半導体層3を積層し、電極4,5を取付ける。電極材料を選択することにより、検出ガスに対する感度に選択性を持たせる。

請求項（抜粋）：

半導体表面に電極を所定数形成してなる半導体式ガスセンサーにおいて、前記半導体がダイヤモンド半導体であることを特徴とする半導体式ガスセンサー。