特許
J-GLOBAL ID:200903038794057306

可変波長半導体レーザ光源

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 荒船 博司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-070433
公開番号(公開出願番号):特開平11-274643
出願日: 1998年03月19日
公開日(公表日): 1999年10月08日
要約:
【要約】【課題】 可変波長LD光源において、高価な波長計を用いずに、高確度化を実現する。【解決手段】 外部共振器型LD光源部1と、駆動部2と、該駆動部2を制御する制御部3と、光源部1からの出力光を2分岐する光分岐器4と、該光分岐器4からの一方の出力光を少なくとも3分岐以上に分岐する光分岐器5と、該光分岐器5から出力された光a1をその光の波長に対応した角度で出力する回折格子14と、該回折格子14から出力された光の入射位置を検出して制御部3へと送信する受光器アレイ部16と、光分岐器5から出力された光a3、光a4の波長に対応した干渉強度を出力するファブリペロー干渉計7、11と、これらの干渉強度率を求めて制御部3へと送信する干渉強度率測定部9と、を備えた可変波長LD光源である。制御部2は、干渉強度率及び入射位置から導き出される現在波長値に基づいて、駆動部2を制御して、光源部1の発振波長を補正する。
請求項(抜粋):
外部共振器型半導体レーザ光源部と、外部共振器長を可変する駆動部と、該駆動部と半導体レーザ駆動電流を制御する制御部と、前記外部共振器型半導体レーザ光源部からの出力光を2分岐して出力する第1の光分岐器と、該第1の光分岐器からの一方の出力光を少なくとも3分岐以上に複数分岐して出力する第2の光分岐器と、該第2の光分岐器から複数分岐して出力された光の1つを入射して、該入射した光をその光の波長に対応した角度で出力する分散分光手段と、該分散分光手段から出力された光の入射位置を検出するとともに、該検出した入射位置を前記制御部へと送信する受光器アレイ部と、前記第2の光分岐器から複数分岐して出力された光の1つを入射して、該入射した光の波長に対応した干渉強度を出力する少なくとも1以上の干渉分光手段と、前記第2の光分岐器から複数分岐して出力された光の強度と前記干渉分光手段から出力された前記干渉強度との比較により、前記干渉分光手段毎の干渉強度率を算出し、該算出した干渉強度率を前記制御部へと送信する干渉強度率測定部と、を備え、前記制御部は、前記入射位置から波長絶対値を算出し、前記干渉強度率から前記波長絶対値を高分解能化した現在波長値を導き出し、該現在波長値に基づいて、前記駆動部を制御して、前記外部共振器型レーザ光源部の発振波長を補正することを特徴とする可変波長半導体レーザ光源。
IPC (2件):
H01S 3/18 ,  H01S 3/133
FI (2件):
H01S 3/18 ,  H01S 3/133

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