カラーフィルタの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-102651
公開番号（公開出願番号）：特開平8-297206
出願日： 1995年04月26日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：

【要約】【構成】 1色目となる黒のストライプパターン10形成時に同時に有効画面外に形成したアライメントマーク11を含むエリア12よりも、2色目以降のパターン形成に用いる顔料分散フォトレジスト13の塗布エリア14を小さくする。【効果】アライメント精度を上げることができる。

請求項（抜粋）：

所定の色の液状塗布剤をガラス基板上に塗布した後、上記所定色のパターンを形成する処理を複数色分繰り返して複数色分のパターンを形成してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法において、上記複数色の内の1色目のパターンを形成する際に該パターンの有効画面外に形成されるアライメントマークを含むエリアよりも、2色目以降のパターン形成に用いる上記液状塗布剤の塗布エリアを小さくすることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 , G02B 5/22

FI (2件)：

G02B 5/20 101 , G02B 5/22

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