特許
J-GLOBAL ID：200903038801845390
石英系光導波路とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-123074
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306325
出願日： 1994年05月11日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ガラス化中に気泡が取り残されて残留することがない石英系光導波路とその製造方法を提供する。【構成】 基板11の上に石英系ガラスの下部クラッド層12が形成され、下部クラッド層12の上に石英系ガラスのコア層13が形成され、下部クラッド層12およびコア層13が所定パターンの導波路16を形成し、所定パターンの導波路16を埋め込むように石英系ガラスの上部クラッド層17が形成された石英系光導波路であって、所定パターンの導波路16のコア層13の導波路側面は基板11に対して垂直になっていて、かつ下部クラッド層12の導波路側面は基板11に対して台形状に傾斜していることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板の上に石英系ガラスの下部クラッド層が形成され、前記下部クラッド層の上に石英系ガラスのコア層が形成され、前記下部クラッド層および前記コア層が所定パターンの導波路を形成し、前記所定パターンの導波路を埋め込むように石英系ガラスの上部クラッド層が形成された石英系光導波路であって、前記所定パターンの導波路の前記コア層の導波路側面は前記基板に対して垂直になっていて、かつ前記下部クラッド層の導波路側面は前記基板に対して台形状に傾斜していることを特徴とする石英系光導波路。
引用特許：
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