特許

J-GLOBAL ID：200903038802975328

回折格子モノクロメータ

発明者： 喜多 敏昭
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-057783
公開番号（公開出願番号）：特開平5-256701
出願日： 1992年03月16日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】【目的】円錐回折を利用したCzerny-Turner型のモノクロメータを実現可能にすること。【構成】角度φをCzerny-Turner型配置の2φの1/2とし、図1に示す実施例のように平面回折格子5と平面鏡7を連動して回転し、波長走査を行う。【効果】円錐回折とCzerny-Turner型配置の両者の特長を併せ持ったモノクロメータが実現可能となる。

請求項（抜粋）：

入射スリットを通過後平行光束化された多波長光束を、鋸歯状溝断面形状を有する平面回折格子の格子溝と角度φをなしかつ溝反射面に垂直な平面内にその光軸を配するよう入射せしめ、該平面内に回折した回折光を平面鏡により反射せしめ、溝反射面に垂直でかつ該平面と2φの角度をなす第2の平面内を逆行して平面回折格子に入射,回折した平行光束を収束し、単色光として出射スリットを通過せしめることを特徴とする回折格子モノクロメータ。