特許
J-GLOBAL ID：200903038803833306
基板ホルダ及びめっき装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-167369
公開番号（公開出願番号）：特開2002-363793
出願日： 2001年06月01日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：
【要約】【課題】 シールリングと該シールリングを取付けたサポート等の間からのめっき液の漏れを確実に防止できるようにした基板ホルダを提供する。【解決手段】 固定保持部材と可動保持部材に取付けたシールパッキンとの間に基板を介在させ、前記シールパッキンを前記固定保持部材に向けて押圧して基板を着脱自在に保持するようにした基板ホルダにおいて、前記シールパッキンに設けた係止部と、前記可動保持部材に設けた係止部とを互いに係止させて、前記シールパッキンを前記可動保持部材に取付けた。
請求項（抜粋）：
固定保持部材と可動保持部材に取付けたシールパッキンとの間に基板を介在させ、前記シールパッキンを前記固定保持部材に向けて押圧して基板を着脱自在に保持するようにした基板ホルダにおいて、前記シールパッキンに設けた係止部と、前記可動保持部材に設けた係止部とを互いに係止させて、前記シールパッキンを前記可動保持部材に取付けたことを特徴とする基板ホルダ。
IPC (4件)：
C25D 17/06
, C25D 17/08
, H01L 21/60
, H01L 21/288
C25D 17/06 C
, C25D 17/08 H
, H01L 21/288 E
, H01L 21/92 604 B
