特許
J-GLOBAL ID：200903038806787500
ガスセンサーの駆動方法及びそれを用いたガスの検知方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高石 橘馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-030965
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218461
出願日： 1994年02月01日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】 湿度依存性を小さくするとともにガス選択性を向上させるガスセンサーの駆動方法を提供する。【構成】 金属酸化物半導体からなるセンサー素子と、その上に設けられた電極と、センサー素子を所定の温度に加熱保持するヒーターとを有するガスセンサーの電極に、目的とする被検ガスにより定まる周波数の交流電圧を印加し、もって目的とする被検ガスを選択的に検知する。
請求項（抜粋）：
ガス感度の湿度依存性を低くするガスセンサーの駆動方法であって、金属酸化物半導体からなるセンサー素子に正と負の電圧を交互に印加することを特徴とするガスセンサーの駆動方法。
IPC (2件)：
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