形状測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三品岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-140806
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334324
出願日： 1995年06月07日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【目的】測定中の測定環境の経時変化による測定精度への影響が少ない形状測定方法を提供する。【構成】測定子1を被測定物Aに対して相対的に繰返し移動させながら、その度に、要求される分解能により定まる間隔aよりも粗い間隔bで、被測定物Aの表面に接触した測定子1の座標を連続的に測定する。但し、測定子1は、常に同一の軌道B上で移動する。その結果、×印を付した各測定点での測定子1の座標から成る形状データと、△印を付した各測定点での測定子1の座標から成る形状データと、○印を付した各測定点での測定子1の座標から成る形状データと、□印を付した各測定点での測定子1の座標から成る形状データが得られる。そして、各形状データに対して各々フィッティング処理を施した後、これらの形状データを被測定物Aの表面形状を表す最終的な形状データとして合成する。

請求項（抜粋）：

測定子を被測定物に対して相対的に移動させながら、一定若しくは一定でない間隔おきに、被測定物の表面の位置の座標を計測する測定を複数回繰返し、前記被測定物の表面形状の設計値からの偏差の自乗和が最小となるように、前記各回の測定で計測された各座標の座標変換を各々行ない、座標変換された、各回の測定で計測された各座標を、前記被測定物の表面の形状データとして合成することを特徴とする形状測定方法。

IPC (2件)：

G01B 21/20 101 , G01B 21/20

FI (2件)：

G01B 21/20 101 Z , G01B 21/20 C

前のページに戻る