特許
J-GLOBAL ID：200903038815920050
被処理体のバッファ装置、これを用いた処理装置及びその搬送方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
浅井 章弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-189107
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335717
出願日： 1994年06月06日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 装置全体の高さを小さくすることができるバッファ装置を提供する。【構成】 伸縮可能になされた搬送アーム機構30により搬送されるべき被処理体3を一時的に保持する被処理体のバッファ装置32において、複数の被処理体の両端を支持すべく、上下方向に複数段に亘って設けられると共に上下動可能になされた支持部材40A〜40Dと、上下方向に隣り合って設けられる前記支持部材同士を接近離間可能に連結するリンク機構42と、前記搬送アーム機構の侵入する水平レベルに略対応する部分に位置する前記リンク機構を駆動して前記支持部材の上下間のピッチを拡大させるピッチ拡大機構60とを備える。これにより搬送アーム機構の水平レベルに対応する部分のみの支持部材のピッチを拡大し、他の部分の支持部材のピッチは小さく設定しておき、装置全体の高さを従来装置と比較して小さくする。
請求項（抜粋）：
伸縮可能になされた搬送アーム機構により搬送されるべき被処理体を一時的に保持する被処理体のバッファ装置において、複数の被処理体の両端を支持すべく、上下方向に複数段に亘って設けられると共に上下動可能になされた支持部材と、上下方向に隣り合って設けられる前記支持部材同士を接近離間可能に連結するリンク機構と、前記搬送アーム機構の侵入する水平レベルに略対応する部分に位置する前記リンク機構を駆動して前記支持部材の上下間のピッチを拡大させるピッチ拡大機構とを備えたことを特徴とする被処理体のバッファ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 1/00 537
, G02F 1/13 101
