特許

J-GLOBAL ID：200903038820379414

高周波プラズマ処理装置のためのインピーダンス整合及び電力制御システム

発明者： 藤井 修逸
出願人/特許権者： 株式会社アドテック
代理人 (1件)： 武石 靖彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-264844
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087097
出願日： 1997年09月10日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：

【要約】【課題】 高周波プラズマ処理装置のための機械的制御によらないインピーダンス整合及び電力制御システムを構成する。【解決手段】 高周波電力発振器1からプラズマ生成室2への電力供給ライン3の後端に挿入されたインピーダンス整合器14が、位相検出手段17と、電圧・電流・位相角検出機能を有する負荷側検出器19、及び演算出力部21を備えたことにより、検出位相に応じた周波数制御信号と、電圧・電流・位相角から算出した前記プラズマ生成室の消費電力を表す電力信号を出力するものであり、前記高周波電力発振器が、周波数制御信号に応じて自身の発振周波数を制御するための発振制御部24と、外部設定電力信号と前記電力信号を受信して両電力値の差を求め、この差に応じて自身の出力電力を制御するための差分加算器を含む出力制御部を備えたものである。

請求項（抜粋）：

高周波電力発振器からプラズマ生成室への電力供給ラインの後端部に挿入されたインピーダンス整合器を含むインピーダンス整合及び電力制御システムであって、a)前記インピーダンス整合器が、その整合器の中核をなすLC回路の入力側に配置された位相検出手段を含む入力側検出器と、出力側に配置された電圧・電流・位相角検出機能を有する負荷側検出器、及び前記入力側検出器及び負荷側検出器に接続された演算出力部を備えたことにより、前記位相検出手段の検出位相に応じた大きさの周波数制御信号と、前記負荷側検出器により検出された電圧・電流・位相角から算出した前記プラズマ生成室の消費電力を表す電力信号を出力するものであり、b)前記高周波電力発振器が、前記周波数制御信号に応じて自身の発振周波数を制御するための発振制御部と、プラズマ生成室に対する外部設定電力信号と前記消費電力を表す検出電力信号を受信して両電力値の差を求め、この差に応じて自身の出力電力を制御して、前記プラズマ生成室の消費電力を前記外部設定電力の値に等しくするための差分加算器を含む出力制御部を備えたことにより、c)高周波電力発振器とプラズマ生成室とのインピーダンス整合を、機械的制御によることなく電気的応答速度において行うようにしたことを特徴とする高周波プラズマ処理装置のためのインピーダンス整合及び電力制御システム。

IPC (6件)：

H05H 1/46 ,  C23C 14/54 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (6件)：

H05H 1/46 M ,  C23C 14/54 B ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B