特許
J-GLOBAL ID：200903038822368711
両面露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
廣瀬 孝美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-170655
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344811
出願日： 1998年06月02日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】 露光機体1内の露光部3に、露光光源4を有する上下の紫外線照射装置6,7を設け、この上下の紫外線照射装置6,7の間に、露光機体1外の操作部3に用意してある上下2段の焼枠20,21を交互に差し替えて各々の焼枠の上下両面を露光するようにしてある両面露光装置において、上段の焼枠20、下段の焼枠21共に同じ露光時間で常に適正かつ均一な露光を得ることができるようにする。【解決手段】 上下の紫外線照射装置6,7を一体にユニット化したうえで、このユニット12全体を所定ストロークSだけ上下に昇降動させることにより、上下の露光光源4,4に対する上段の焼枠20の距離と、下段の焼枠21の距離とが等しくなるように調整できるものとした。
請求項（抜粋）：
露光機体内の露光部に、露光光源をそれぞれ有する上下の紫外線照射装置を設け、この上下の紫外線照射装置の間に、露光機体外の操作部に用意してある上下2段の焼枠を交互に差し替えて各々の焼枠の上下両面を露光するようにしてある両面露光装置において、上部の紫外線照射装置と下部の紫外線照射装置とが、前記上下2段の焼枠の受入れを許容する間隔をおいて上下に対向するよう一体的に結合された紫外線照射装置ユニットに構成されており、この紫外線照射装置ユニット全体が上下方向に昇降動可能に設置されていることを特徴とする両面露光装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 511
, H05K 3/00
, H05K 3/06
G03F 7/20 511
, H05K 3/00 H
, H05K 3/06 E
