特許
J-GLOBAL ID：200903038824508944
基板処理システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-180736
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031906
出願日： 1994年07月08日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】 プロセスチャンバ単独の入れ替えが容易であるとともに、基板を大気中にさらすことなく装置間で搬送でき、しかも、基板処理におけるスループットの向上を可能とした基板処理システムを提供する。【構成】 所定の雰囲気下で基板3の表面に所定の処理を施す複数のプロセスチャンバ1と、各プロセスチャンバ1に基板1を搬送する基板搬送車2とによって基板処理システムを構成した。各プロセスチャンバ1には基板3を取り込むためのゲートバルブ4を設けた。これに対して基板搬送車2には、複数のプロセスチャンバ1間を移動可能な自走台車5と、複数枚の基板3を収納可能な真空チャンバ6と、プロセスチャンバ1のゲートバルブ4に連結可能なゲートバルブ7と、ゲートバルブ4、7同士が連結された状態で真空チャンバ6とプロセスチャンバ1との間で基板3の移載を行う移載ロボット8とを設けた。
請求項（抜粋）：
所定の雰囲気下で基板の表面に所定の処理を施すとともに、前記基板を取り込むためのゲートバルブを備えた複数のプロセスチャンバと、前記複数のプロセスチャンバ間を移動可能な自走台車と、前記自走台車に搭載されて複数枚の基板を収納可能な真空チャンバと、前記真空チャンバに設けられて前記プロセスチャンバのゲートバルブに連結可能なゲートバルブと、前記真空チャンバ内に設けられて前記ゲートバルブ同士が連結された状態で前記真空チャンバと前記プロセスチャンバとの間で基板の移載を行う移載ロボットとを備えた基板搬送車とによって構成されたことを特徴とする基板処理システム。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/02
