特許
J-GLOBAL ID:200903038827466126

銅および銅合金の化学溶解液

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西教 圭一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-267564
公開番号(公開出願番号):特開平6-116756
出願日: 1992年10月06日
公開日(公表日): 1994年04月26日
要約:
【要約】【目的】 銅および銅合金の表面処理やエッチング加工が短時間に行え、取扱いが容易で作業環境が悪化しない化学溶解液を得る。【構成】 錯形成剤、酸化剤および鉱酸のアンモニウム塩の水溶液をpH5〜8に調整した銅および銅合金用溶解液。
請求項(抜粋):
錯形成剤、酸化剤および鉱酸のアンモニウム塩を含む水溶液からなり、該水溶液のpHが5〜8の範囲に調整されることを特徴とする銅および銅合金の化学溶解液。
IPC (2件):
C23F 1/18 ,  C23F 1/34
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開昭50-148253
  • 特開昭52-022192
  • 特開昭56-102581
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