特許

J-GLOBAL ID：200903038829412732

平行移動装置に用いられる変位測定方法及び変位測定装置

発明者： 岩橋 哲雄
出願人/特許権者： 株式会社ソディック
代理人 (1件)： 近島 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-030028
公開番号（公開出願番号）：特開平5-196415
出願日： 1992年01月21日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】可動盤を移動した状態で、連続的に平行度等の変位を高精度にて測定する。【構成】可動盤5を移動した状態で、固定盤6に装着されたレーザビームガン17から移動方向に平行にレーザ光を照射する。該照射光Bはハーフミラー19を透過して可動盤5に装着された反射鏡18に反射される。該反射光Cはハーフミラー19に反射されて、CCD20にて検出される。CCD20上の光点に対応して表示装置26上の座標軸に、可動盤5の移動位置に対応した可動盤の変位角が線図として表示される。

請求項（抜粋）：

固定部材に対して平行移動し得る可動部材を有する平行移動装置に用いられる変位測定方法であって、前記固定部材及び可動部材のいずれか一方に装着された光源からの光を前記可動部材の移動方向に平行に照射し、該照射光を、ハーフミラーを透過して前記固定部材及び可動部材のいずれか他方に設けられた反射鏡にて反射し、該反射光を、前記ハーフミラーに反射して検出手段にて検出することにより、前記可動部材を移動しながら、該可動部材の前記固定部材に対する変位を連続的に測定すること、を特徴とする変位測定方法。