特許

J-GLOBAL ID：200903038841858878

遠心力を利用した薬液塗布装置

発明者： 高月 龍三
出願人/特許権者： タツモ株式会社
代理人 (1件)： 小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-078677
公開番号（公開出願番号）：特開平7-323250
出願日： 1995年04月04日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：

【要約】【目的】 基盤の上部に完全な閉鎖空間を容易につくり得るようにする。【構成】 基盤装填用の回転カップ2を備えた大径軸部24と、大径軸部24を高速回転させるカップ回転機構6と、回転カップ2との結合によって内部に閉鎖空間をつくるフード3と、フード3を吊持する蓋体51を備えたシリンダ機構53と、フード3と蓋体51との間に介在され、フード3が上昇された状態でフード3と蓋体51とを結合する係合部とが設けられ、フード3が回転カップ2に結合された状態でフード3と蓋体51との結合状態が解除され、係合部は、フード3に形成されたフランジと、蓋体51に形成された支持孔55とから構成され、フランジは外側周縁部を有し、支持孔55はフランジの外側周縁部に対応した内側周縁部を有し、外側周縁部と内側周縁部とは、それらが相互に当接した状態でフード3の周方向の位置決めが行われるように形状設定されている。

請求項（抜粋）：

内部に薬液の供給される基盤装填用の回転カップを備えた回転部材と、上記回転部材を高速回転させる駆動機構と、上記回転カップとの結合によって内部に閉鎖空間をつくるフードと、上記フードを吊持して昇降させる吊持手段を備えた昇降機構と、上記フードと吊持手段との間に介在され、フードが上昇された状態でフードと吊持手段とを結合するとともに、フードが回転カップに結合された状態で上記フードと吊持手段との結合状態が解除される係合部とが設けられ、上記係合部は、フードが上昇された状態でフードの周方向の位置決めが行われるような形状を有していることを特徴とする遠心力を利用した薬液塗布装置。

IPC (5件)：

B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 564 C ,  H01L 21/306 R