特許

J-GLOBAL ID：200903038842655857

静電チヤツク装置

発明者： 野田 和夫
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社 ,  日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 石黒 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-164231
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013557
出願日： 1991年07月04日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：

【要約】【目的】 チャック電極板への給電性に優れるとともに、セラミック板の表面層の破損の防止を図った静電チャック装置の提供。【構成】 裏面に凹部11、12を形成し表面がチャック面13とされるアルミナ板1と、アルミナ板1内に埋設されるチャック電極板2、3と、凹部11,12の底で露出する様にアルミナ板1内に埋設される受電用電極板4、5と、チャック電極板2、3と受電用電極板4、5とを電気接続する連絡部6、7とを備え、高電圧発生装置に電気接続した給電用電極8、9を受電用電極板4、5の露出面41、51に押圧させてなる。

請求項（抜粋）：

裏面に一対の凹部を形成し、表面がチャック面とされる電気絶縁性のセラミック板と、該セラミック板内に、前記チャック面と微少な間隔を隔てて埋設される一対のチャック電極板と、一部が前記凹部の底で露出する様に、前記セラミック板内に埋設される一対の受電用電極板と、前記チャック電極板と受電用電極板とを電気接続する連絡部とを備え、高電圧発生装置に電気接続した棒状の給電用電極を、前記凹部の底の受電用電極板の露出面に押圧させてなる静電チャック装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/06 ,  H02N 13/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-264638
  
• 特開昭63-134145