特許

J-GLOBAL ID：200903038853759174

超微細特徴部分の品質特性を判断する方法及び装置

発明者： ムント・ランダル・エス. ,  ラム・アルバート・ジェイ. ,  ウェラン・マイク ,  ウィークス・クィニー・アンドリュー
出願人/特許権者： ラム リサーチ コーポレーション ,  ベリティ インストルメンツ、インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 特許業務法人 明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-527208
公開番号（公開出願番号）：特表2003-510831
出願日： 2000年09月29日
公開日（公表日）： 2003年03月18日
要約：

【要約】【課題】【解決手段】 広帯域白色光を使用して超微細特徴部分の品質特性を判断する方法を開示する。高コリメート光源により、広帯域の多重スペクトル光を使用して、第一のウェハの領域を照射する。その後、第一のウェハから散乱した光の角度分布を測定する。一般に、光源、検出器、又はその両方の角度は変更され、それぞれの角度で角度分布測定が行われ、第一のウェハの散乱シグネチャが生成される。最後に、第一のウェハの散乱シグネチャを、良好な品質である第二のウェハの既知である散乱シグネチャと比較し、第一のウェハの品質を判断する。

請求項（抜粋）：

エッチングされたウェハの特徴部の特性を監視する方法であって、 広帯域多重スペクトル光の高コリメート光源を利用して第一のウェハの領域を照射するステップと、 第一のウェハから散乱した光の角度分布を測定するステップと、 第一のウェハの散乱シグネチャを第二のウェハの既知である散乱シグネチャと比較するステップと、を備える方法。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01N 21/956

FI (2件)：

H01L 21/66 J ,  G01N 21/956 A

Fターム (20件)：

2G051AA51 ,  2G051AB20 ,  2G051AC21 ,  2G051BA05 ,  2G051BA06 ,  2G051BA08 ,  2G051BB01 ,  2G051CA01 ,  2G051CA06 ,  2G051CB05 ,  4M106AA01 ,  4M106AA10 ,  4M106BA04 ,  4M106CA27 ,  4M106CA38 ,  4M106DB02 ,  4M106DB07 ,  4M106DB11 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平4-254325
  
• 特開平3-264851
  
• 特開平3-189545
  

審査官引用 (3件)

• 特開平4-254325
  
• 特開平3-264851
  
• 特開平3-189545