特許

J-GLOBAL ID：200903038854317043

ローラコンベヤおよび縦型熱処理装置のヒータ搭載治具ならびに縦型熱処理装置

発明者： 加藤 和彦
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-327097
公開番号（公開出願番号）：特開2001-144024
出願日： 1999年11月17日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 薄型化および組立の容易化を図る。【解決手段】 厚さの薄いベース28,29に上面から所定深さに凹部46を形成すると共に、この凹部46にローラ45の下側を収容する開口部47を形成し、前記凹部46に、ローラ45を回転可能に軸支し且つ少なくとも両端下面に平坦な安定面48を形成した支軸49の両端を置き、この支軸49の両端を保持板50により保持してなる。

請求項（抜粋）：

厚さの薄いベースに上面から所定深さに凹部を形成すると共に、この凹部にローラの下側を収容する開口部を形成し、前記凹部に、ローラを回転可能に軸支し且つ少なくとも両端下面に平坦な安定面を形成した支軸の両端を置き、この支軸の両端を保持板により保持してなることを特徴とするローラコンベヤ。

IPC (3件)：

H01L 21/22 511 ,  B65G 13/11 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/22 511 Z ,  B65G 13/11 ,  H01L 21/68 A

Fターム (4件)：

3F033BB01 ,  3F033BC01 ,  5F031CA20 ,  5F031GA53