特許
J-GLOBAL ID：200903038857138760
回転型欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-226866
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083840
出願日： 1993年09月13日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【目的】 簡単な信号処理系を用いて且つ高速に、回路パターン等が形成された基板の表面の欠陥検査を行う。【構成】 光源26からの光束29をウエハ1の被検点P上に照射する。被検点Pからの光束32が、フーリエ変換レンズ31を経て後側焦点面33上に被検点P上の回路パターンのフーリエ変換スペクトルを形成する。そのフーリエ変換スペクトルから、空間フィルタ34により直線状パターンのフーリエ変換スペクトルを除去した後の光束を、光電変換素子401 〜40N で受光する。ウエハ1をターンテーブル21により回転すると共にy方向に移動させながら、空間フィルタ34をウエハ1と同期して回転する。
請求項（抜粋）：
所定のパターンが形成された基板の表面の欠陥を検査する装置において、前記基板の表面の所定面積の検査領域に検査用の光束を照射する照明手段と、前記基板からの光束を空間周波数成分に分解するフーリエ変換光学素子と、該フーリエ変換光学素子により生成された空間周波数成分の光束を所定の大きさの受光面で受光してそれぞれ光電変換する1組の光電変換手段と、前記フーリエ変換光学素子の光軸に平行な回転軸を中心として前記基板を回転するターンテーブルと、前記フーリエ変換光学素子の光軸に垂直な面内で前記基板を移動させる移動手段と、を有し、前記ターンテーブル及び前記移動手段を介して前記基板に回転及び移動を行わせることにより、前記所定面積の検査領域で前記基板の表面をスパイラル状に走査し、前記1組の光電変換手段から出力される光電変換信号の内の最小レベルの信号より前記基板上の所定のパターンの欠陥を検査することを特徴とする回転型欠陥検査装置。
IPC (2件)：
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