蒸着装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-074683
公開番号（公開出願番号）：特開平5-271913
出願日： 1992年03月30日
公開日（公表日）： 1993年10月19日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】基体に効率良く、厚さが均質な薄膜を安価な装置で形成することを目的とする。【構成】開口したセル6の周面に水冷型の導電性チューブ11を巻き付け、この導電性チューブ11に交流電流を流すことにより、前記セル6に収容した蒸着材料10を誘導加熱し、また前記セル6の開口部5を通して前記蒸着材料10を電子銃7から発射した電子ビームEBで照射、加熱するように構成した蒸着装置1Aである。【効果】蒸着材料の溶融を主として誘導加熱により行うようにしたので、電子銃7の電力をセーブすることができる。

請求項（抜粋）：

開口したセルに蒸着材料を収容し、このセルを真空槽内に配し、その蒸着材料を加熱することによりその蒸気流を発生させ、そのセルの上方に配置した基体に薄膜を形成させる蒸着装置において、前記蒸着材料を誘導加熱と電子ビーム加熱を併用して加熱することを特徴とする蒸着装置。

IPC (4件)：

C23C 14/26 , C23C 14/30 , G11B 5/85 , G11B 7/26 531

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開昭60-169561
特開平2-266156
特開昭50-082478

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