特許
J-GLOBAL ID:200903038860954349

エックス線可変斜視角透視装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-010764
公開番号(公開出願番号):特開2001-201464
出願日: 2000年01月19日
公開日(公表日): 2001年07月27日
要約:
【要約】【課題】 エックス線透視観察装置において、拡大倍率を固定したまま、視角を変更し、透視方向を所望の方向に変更できる。更に、反対に、透視方向を固定した状態で、所望に拡大倍率に変更可能で、しかも大きな拡大倍率を得ること。またこれを小形、低コストで実現することを目的とする。【解決手段】 透過形エックス線源と、このエックス線源の下部に被測定物を水平方向に位置決めするXYステージと、このXYステージを倍率方向である鉛直方向に位置決めするZステージを設け、このXYステージの下部にエックス線撮像部とこの撮像部を水平方向に直線移動させる撮像部直線移動ステージと、この直線移動ステージの動作に伴ってエックス線検出面が常にエックス線出射点に向かせる撮像部傾斜機構と、撮像部を回転させる撮像部回転機構とでエックス線可変斜視角透視装置を構成する。
請求項(抜粋):
エックス線を発生するエックス線源と、該エックス線源の下部に被測定物を水平方向に位置決めするXYステージと、該XYステージを鉛直方向に位置決めするZステージと、前記XYステージの下部に設けたエックス線撮像部と、該撮像部を水平方向に直線移動させる撮像部直線移動ステージと、該直線移動ステージの動作に伴って前記撮像部のエックス線検出面が常に前記エックス線源のエックス線出射点に向くように傾斜させる撮像部傾斜機構と、前記エックス線撮像部を前記エックス線源のエックス線放射中心軸上を中心に回転させる撮像部回転機構とを有することを特徴とするエックス線可変斜視角透視装置。
IPC (2件):
G01N 23/04 ,  G01N 23/18
FI (2件):
G01N 23/04 ,  G01N 23/18
Fターム (13件):
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA09 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001JA06 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 特開平3-077008
  • X線透過検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-057303   出願人:株式会社ユニハイト

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