特許

J-GLOBAL ID：200903038861779079

クランプ機構

発明者： 岸 昭洋
出願人/特許権者： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-125887
公開番号（公開出願番号）：特開平5-326676
出願日： 1992年05月19日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：

【要約】【目的】 種々の寸法のウエーハをクランプするのに用いるクランプ機構の改良に関し、ウエーハの寸法が大きな場合でも小さな場合でも、常に同じ力でクランプすることが可能なクランプ機構の提供を目的とする。【構成】 基板1に設けたブロック2の間に設けたガイド棒3と、このガイド棒3と嵌合し、圧縮ばね4によりこのガイド棒3に沿ってスライド可能なスライドブロック5と、このスライドブロック5をこの圧縮ばね4に抗してこのガイド棒3に沿ってスライドさせるこの基板1に設けたエアシリンダ6と、このスライドブロック5とピン7により結合されている回転ブロック8と、この回転ブロック8の一端に設けられており、ウエーハ12をクランプするクランパー9と、この回転ブロック8の係止部8aと係合する係止部11a を備えたストップレール11とを具備するように構成する。

請求項（抜粋）：

スライドブロック(5)をスライドさせるスライド手段(6)と、前記スライドブロック(5) と、ピン(7) により回転可能に結合されている回転ブロック(8) と、該回転ブロック(8) の一端に設けられ、ウエーハ(12)をクランプするクランパー(9) と、前記回転ブロック(8) の他端に設けられた係止部(8a)と、該クランプ時に該係止部(8a)と係合する係止部(11a) を備えたストップレール(11)と、を具備することを特徴とするクランプ機構。