特許
J-GLOBAL ID:200903038863788733

静圧気体軸受パッド用の隙間調節装置及びこれを用いた静圧気体軸受機構

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高田 武志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-008516
公開番号(公開出願番号):特開2005-201370
出願日: 2004年01月15日
公開日(公表日): 2005年07月28日
要約:
【課題】 隙間の調節後に調節後の状態、即ち設定状態を変動させないで当該設定状態を固定できる上に、固定作業を簡単に行い得、しかも、小スペースをもって設置できる静圧気体軸受パッド用の隙間調節装置及びこれを用いた静圧気体軸受機構を提供すること。【解決手段】 静圧気体軸受機構1は、可動体2を固定体3に対してX方向に移動自在に保持すベく可動体2と固定体3との間に介在された複数の静圧気体軸受パッド4と、各静圧気体軸受パッド4と可動体2との間の隙間5を調節すベく固定体3に各静圧気体軸受パッド4に対応して装着されている隙間調節装置6とを具備している。【選択図】図1
請求項(抜粋):
可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在させる静圧気体軸受パッドの可動体との間の隙間を調節する隙間調節装置であって、内周面に雌ねじが刻設された筒体と、筒体の内周面の雌ねじに螺合する雄ねじを外周面に有すると共に筒体の一端面から突出する進退自在部材と、筒体に対する進退自在部材の位置を固定する固定手段とを具備しており、筒体にはその外周面から少なくともその内周面まで伸びるスリットが設けられており、固定手段は、スリットの幅を変える方向の力を筒体に加えて筒体に対する進退自在部材の位置を固定するようになっている静圧気体軸受パッド用の隙間調節装置。
IPC (1件):
F16C32/06
FI (1件):
F16C32/06 A
Fターム (7件):
3J102AA02 ,  3J102CA03 ,  3J102CA31 ,  3J102EA02 ,  3J102EA18 ,  3J102FA09 ,  3J102GA07
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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