特許

J-GLOBAL ID：200903038866295800

マスク収容容器、露光装置

発明者： 大久保 至晴 ,  柿崎 幸雄 ,  石間 透浩 ,  川又 宏行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-329880
公開番号（公開出願番号）：特開2007-141925
出願日： 2005年11月15日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：

【課題】マスク収納装置内で上蓋が下蓋にしっかりと装着されるマスク収納装置等を提供する。 【解決手段】マスク収納容器2は、マスク1を載置するベース部材2bとマスク1を覆う蓋部材2aとからなり、大気環境と真空環境とを移動するマスク収納容器2であって、ベース部材2bと蓋部材2aとの接合を付勢する付勢部材5を備える。また、付勢部材5が、ベース部材2bとマスク1の重量よりも大きな付勢力を有する。 【選択図】図6

請求項（抜粋）：

マスクを載置するベース部材と前記マスクを覆う蓋部材とからなり、大気環境と真空環境とを移動するマスク収容容器であって、 前記ベース部材と前記蓋部材との接合を付勢する付勢部材を備えることを特徴とするマスク収容容器。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/14 ,  H01L 21/673

FI (3件)：

H01L21/30 503E ,  G03F1/14 M ,  H01L21/68 T

Fターム (9件)：

2H095BA10 ,  2H095BE12 ,  5F031CA07 ,  5F031DA12 ,  5F031EA12 ,  5F031MA27 ,  5F031PA30 ,  5F046AA21 ,  5F046GD20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許3455072号公報