特許
J-GLOBAL ID：200903038868125430
光学部品用の有機系被膜形成性物質を含浸固化している多孔質セラミックス焼結体を用いる光学部品の真空蒸着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須藤 阿佐子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-199872
公開番号（公開出願番号）：特開平9-013167
出願日： 1990年07月09日
公開日（公表日）： 1997年01月14日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 無機物系蒸着物質で真空蒸着処理をした後、その真空蒸着装置の中で引き続き光学部品用の有機被膜形成性物質を含浸固化している多孔質セラミックス焼結体を用いて溶媒を全く使用することなく光学部品上に有機保護被膜を形成する光学部品の真空蒸着方法。【解決手段】 光学部品用の有機系被膜形成性物質を含浸固化している多孔質セラミックス焼結体を用いて光学部品上に有機保護被膜を形成する、光学部品の蒸着方法。
請求項（抜粋）：
光学部品用の有機系被膜形成性物質を含浸固化している多孔質セラミックス焼結体を用いて光学部品上に有機保護被膜を形成することを特徴とする光学部品の真空蒸着方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/24 D
, C23C 14/06 P
