ダイシング装置及びダイシング方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-117817
公開番号（公開出願番号）：特開2003-318134
出願日： 2002年04月19日
公開日（公表日）： 2003年11月07日
要約：

【要約】【課題】Si(シリコン)やLТ(リチュウムタンタレート)等の高脆性材料のウエーハを、チッピングを極力抑え、安定して溝加工や切断加工を行うことのできる量産用のダイシング装置、及びダイシング方法を提供すること。【解決手段】ワークを振動させるため、発振器(振動発生手段)51の振動パラメータを予め複数記憶手段62に記憶しておき、ワークの種類に応じて最適な振動パラメータを呼び出して、コントローラ60のプログラム生成手段64で加工プログラムを生成するようにした。これによりオペレータの勘に頼ることなく、Si(シリコン)やLТ(リチュウムタンタレート)等の高脆性材料のウエーハを、チッピングを極力抑え、安定して溝加工や切断加工を行うことができる。

請求項（抜粋）：

回転するブレードでワークに溝加工や切断加工を行うダイシング装置であって、前記ワーク又はブレードに振動を加えながら前記加工を行うダイシング装置において、前記振動を発生させる振動発生手段と、複数の振動パラメータを記憶する記憶手段と、ワークの種類に応じて振動パラメータを選択し、この選択された振動パラメータに基づいて前記振動発生手段を振動させるコントローラと、を有していることを特徴とするダイシング装置。

前のページに戻る