特許

J-GLOBAL ID：200903038871118844

搬送ロボットの制御方法

発明者： 金本 耕司
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-094688
公開番号（公開出願番号）：特開平7-299777
出願日： 1994年05月09日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】 動作中にエラーが発生した時、自動的に原点に復帰させる搬送ロボットの制御方法を提供する。【構成】 被処理物であるウェハが収容されたカセット2をつかむ把持部3と、該把持部3が取り付けられたアーム部4と、搬送ロボットの架台となるロボット本体5とからなる搬送ロボット1であり、該搬送ロボット1の動作中にエラーが発生した時、搬送ロボット1に搭載されるサブプログラムの構成要素であるロボット位置監視プログラムが原点復帰手段である原点復帰プログラムを生成し、搬送ロボット1を自動的に原点に復帰させる。

請求項（抜粋）：

被処理物が収容されたカセットをつかむ把持部を備えた搬送ロボットのロボット動作手段と並列して、前記把持部の位置を監視するロボット位置監視手段を起動し、前記搬送ロボットの動作中にエラーが発生した時、前記ロボット位置監視手段が前記搬送ロボットを自動的に原点に復帰させる原点復帰手段を生成することを特徴とする搬送ロボットの制御方法。

IPC (8件)：

B25J 9/10 ,  B25J 19/06 ,  G05B 19/18 ,  G05B 19/19 ,  G05B 19/4093 ,  G05D 3/00 ,  G05D 3/12 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G05B 19/18 A ,  G05B 19/18 X ,  G05B 19/403 K