特許

J-GLOBAL ID：200903038879926680

光導波路の作製方法

発明者： 広瀬 智財 ,  金森 弘雄 ,  服部 哲也
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-207703
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075940
出願日： 1994年08月31日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】 透明ガラス化の際に導波路層の内部に生じた応力を均一化して、偏波特性の優れた光導波路を作製する方法を提供する。【構成】 基板上に火炎堆積法を用いてガラス微粒子層を堆積し、これを焼結してから徐冷して透明ガラス化することにより導波路層を形成した後、基板を除去する。これにより、基板と導波路層との熱膨張係数の差に起因して導波路層に生じていた応力を低減し、TEモードとTMモードとの間の光伝送特性の差を低減して、良好な偏波特性を有する光導波路を作製することができる。

請求項（抜粋）：

基板上に火炎堆積法を用いてガラス微粒子層を堆積するとともにこれを透明ガラス化して、光導波部であるコア層とこのコア層を包囲しこのコア層よりも低屈折率のクラッド層とからなる導波路層を前記基板上に形成する第1の工程と、前記基板を除去する第2の工程と、を備える光導波路の作製方法。