特許
J-GLOBAL ID：200903038891786665
集束イオンビーム加工観察装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-315916
公開番号（公開出願番号）：特開平10-162766
出願日： 1996年11月27日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】試料の三次元構造を高分解能で観察可能な集束イオンビーム加工観察装置を提供する。【解決手段】試料の二次元像から集束イオンビームのビーム分布の影響を低減するデコンボリューション処理を施した後に、三次元像を形成する。
請求項（抜粋）：
試料上の同一領域を集束イオンビームで走査して複数の二次元像を取得し蓄積する機構と、上記複数の二次元像を再構成して上記試料の三次元像を形成する機構と、上記試料の三次元像を表示する機構とを有する集束イオンビーム加工観察装置において、上記集束イオンビームのビーム強度分布により生じる上記複数の二次元像の像ボケを低減する機能を有することを特徴とする集束イオンビーム加工観察装置。
IPC (2件)：
H01J 37/252
, H01J 37/305
H01J 37/252 B
, H01J 37/305 A
