特許
J-GLOBAL ID：200903038896424184
基板搬送装置及び この基板搬送装置における基板位置補正方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-215755
公開番号（公開出願番号）：特開平5-055798
出願日： 1991年08月28日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：
【要約】【目的】印刷機の特性にかかわらずにパタ-ンの位置ずれの発生を防止することが可能な基板搬送装置を提供することにある。【構成】位置合せマ-クが描かれた基板8を載置する基板載置装置6とこの基板載置装置6に載置された基板8aを位置決めするXYΘテ-ブル12とを備えるとともに、転写ドラム33を有するオフセット式の印刷機15と組合わされ、基板8aを基板載置装置6に載置したまま位置補正して印刷機15に送る基板搬送装置において、転写ドラム33に付着したインキ34を撮像するパタ-ン用CCDカメラ32と、基板8の位置合せマ-クを撮像する位置合せマ-ク用CCDカメラ25、26とを設け、転写ドラム33上のインキ34と基板8a上の位置合せマ-クとの相対的な位置ずれ量を求めて基板8aを位置補正する。
請求項（抜粋）：
位置合せマ-クが描かれた基板を載置する基板載置装置とこの基板載置装置に載置された上記基板を位置決めする位置決め装置とを備えるとともに、転写ドラムを有するオフセット式の印刷機と組合わされ、上記基板を上記基板載置装置に載置したまま位置補正して上記印刷機に送る基板搬送装置において、上記転写ドラムに付着したインキを撮像するパタ-ン用撮像装置と、上記基板の位置合せマ-クを撮像する位置合せマ-ク用撮像装置とを設け、上記転写ドラム上のインキと上記基板上の位置合せマ-クとの相対的な位置ずれ量を求めて上記基板を位置補正することを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2件)：
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