特許
J-GLOBAL ID：200903038899484277
チップの搭載装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-244156
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092664
出願日： 1995年09月22日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【目的】 チップ搭載の高速化を図れ、また多品種のチップを基板に搭載できるチップの搭載装置を提供することを目的とする。【構成】 チップのピックアップステーションの一方の側部にはウェハ2を収納する第1のマガジン6,エレベータ9,プッシャ11を設け、他方の側部にはトレイ8を収納する第2のマガジン7,エレベータ10,プッシャ15を備える。搬送部12に沿って移動するアーム14により第1のマガジン6内のウェハ2をピックアップステーションに出し入れする。また回収用アーム16により第2のマガジン7のトレイ8をピックアップステーションに出し入れする。ウェハ2とトレイ8は、ピックアップステーションにおいて、Xテーブル4とYテーブル5に駆動されて水平移動し、所定のチップをヘッド部50のノズルによるピックアップ位置へ移動させる。
請求項（抜粋）：
チップ供給部と、基板の位置決め部と、このチップ供給部のチップをピックアップするノズルを複数個備えたヘッド部と、前記ノズルからチップを受け取って前記位置決め部に位置決めされた基板に搭載する移載ヘッドとを備えたチップの搭載装置であって、前記チップ供給部がウェハとトレイを一体的に保持する保持部と、ウェハやトレイに備えられた所定のチップを前記ノズルによるピックアップ位置へ移動させるためのXテーブルおよびYテーブルと、チップのピックアップステーションに位置する前記保持部の一方の側部に設けられてウェハを段積して収納する第1のマガジンと、この第1のマガジンを昇降させるエレベータと、前記保持部とこの第1のマガジンの間でウェハを受け渡しする受け渡し手段と、前記保持部の他方の側部に設けられてトレイを段積して収納する第2のマガジンと、この第2のマガジンを昇降させるエレベータと、前記保持部とこの第2のマガジンの間でトレイを受け渡しする受け渡し手段とを備えたことを特徴とするチップの搭載装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/52 F
, H01L 21/50 B
