特許

J-GLOBAL ID：200903038903917418

ワークとベースの接着方法

発明者： 大崎 卓也 ,  浅野 健一郎 ,  三上 正貴 ,  細谷 英行
出願人/特許権者： 株式会社フジクラ
代理人 (1件)： 国平 啓次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-031379
公開番号（公開出願番号）：特開平9-205126
出願日： 1996年01月25日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】 ミクロン又はサブミクロンのホトリソグラフィ加工等に際し、ワーク(加工物)をベース上に、ホットワックスで接着して加工し、後で分離することがある。従来は、加熱されたベース20の一つの面の全体にホットワックス30を塗り、加温されたワーク10を接着し、加圧していた。しかし、?@ホットワックス30の厚さにムラができる、?A気泡の完全排除が困難、?B位置決め作業(ベース20の基準面22にワークの縁を合わせる)が困難、等の問題があった。【解決手段】 ベース20を透明材質のものとし、かつ孔24を設けておき、ベース20をワーク10上に重ねる。孔24に液状のホットワックス30を流し込み、それが毛管現象によって、ワーク10とベース20間の隙間の全面に広がるようにする。こうすると、位置決めが容易で、最小限の薄さでかつ均一厚みで接着できる。

請求項（抜粋）：

ワークをベース上に、ホットワックスにより接着するに際して、前記ベースを透明材質とするとともに当該ベースに孔を設けておき、当該ベースをワーク上に重ね、前記孔に液状のホットワックスを流し込み、当該ホットワックスが毛管現象によって、前記ワークとベース間の隙間に広がるようにすることを特徴とする、ワークとベースの接着方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B29C 65/48 ,  C09J 5/00 JGU

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B29C 65/48 ,  C09J 5/00 JGU