シリンダキャビネット

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：筒井大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-003845
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211604
出願日： 1994年01月19日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】危険性ガスのパージラインへの逆流を確実に検知して、安全性を向上させることが可能なシリンダキャビネットを提供する。【構成】高圧ガス容器10(20)にシリンダ元弁MV1(MV2)を介して接続されるガスラインL1(L2)には、パージ元弁AV4,逆止弁C0,圧力スイッチPS0を備えるとともに、ベント排気弁AV0を介してベントラインVLに接続されたパージライン本管PL0から分岐したパージラインPL1(PL2)が接続され、パージラインPL1(PL2)には、パージライン遮断弁AV1(AV2),逆止弁C1(C2),フローチェッカFS1(FS2)が設けられ、圧力スイッチPS0またはフローチェッカFS1,FS2を監視して、ガスラインL1(L2)からパージラインPL1(PL2)の側へのプロセスガスの逆流を検知するシリンダキャビネットである。

請求項（抜粋）：

ガス源と、このガス源からガス消費部へと所望の特定ガスを供給するガスラインと、このガスラインに接続され、所望のパージガスを前記ガスラインに強制的に流入させることによって当該ガスラインのパージ操作を行うパージラインとを備えたシリンダキャビネットであって、前記ガスラインから前記パージラインへの前記特定ガスの逆流を監視する監視手段と、この監視手段による前記逆流の検知時に、警報を発する第1の操作および前記ガスラインと前記パージラインとを遮断する第2の操作の少なくとも一方を実行する制御論理とを備えたことを特徴とするシリンダキャビネット。

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