特許
J-GLOBAL ID：200903038913310872
洗浄槽
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-159934
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031787
出願日： 1994年07月12日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】洗浄液の整流を行い洗浄液の汚染を低減し、洗浄効率の向上をはかる。【構成】囲壁13の内または外の洗浄槽11において、排出口16の上または注入口12の上に多孔板20′、20を設置する。
請求項（抜粋）：
洗浄物を搬出入できるだけの間隙と高さとを有する筒状の囲壁を、上記洗浄物の周囲を囲んで洗浄槽の底部に固着し、囲壁内の上記洗浄物が十分に洗浄液に浸漬される位置に、所定の細孔を所要数設けた多孔板を上記洗浄物の支持棚として設け、上記囲壁の外側の洗浄槽下部に設けた注入口から注入した洗浄液を吸引排出する排出口を、上記支持棚下方の洗浄槽底部に設けた洗浄槽において、上記洗浄液の整流手段を洗浄槽内または上記囲壁内に設けたことを特徴とする洗浄槽。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
