特許
J-GLOBAL ID:200903038923538561

搬送装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小原 肇
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-234115
公開番号(公開出願番号):特開平8-073193
出願日: 1994年09月02日
公開日(公表日): 1996年03月19日
要約:
【要約】【目的】 昇降機構に万一の事故があっても重量物の落下を防止して装置の破損や人身事故を未然に防止できる搬送装置を提供する。【構成】 本搬送装置20は、昇降機構22を介してテストヘッド16を上下方向へ搬送してプローブ装置10の接続リング15に対して電気的に離接する装置において、上記テストヘッド16の落下を防止する落下防止機構32を昇降機構22に設け、落下防止機構32は、支持体26の底面26Aに設けられたナット33と、このナット33に螺合するボールネジ34と、このボールネジ34の下端に取り付けられたブレーキシュー35と、このブレーキシュー35を所定の隙間δを介して点支持し且つ昇降機構22の故障によるテストヘッド16の荷重によりブレーキシュー35が隙間δを埋めて面接触してボールネジ34の回転を制動する支承部材36とを備えたことを特徴とする。
請求項(抜粋):
重量物を支持する支持機構と、この支持機構を介して上記重量物を昇降する昇降機構とを備え、上記昇降機構を介して上記重量物を上下方向へ搬送する搬送装置において、上記重量物の落下を防止する落下防止機構を上記昇降機構に設け、上記落下防止機構は、上記支持機構に設けられたナットと、このナットに螺合するボールネジと、このボールネジの下端に取り付けられたブレーキシューと、このブレーキシューを所定の隙間を介して点支持し且つ上記昇降機構の故障による上記重量物の荷重により上記ブレーキシューが上記隙間を埋めて面接触して上記ボールネジの回転を制動する支承部材とを備えたことを特徴とする搬送装置。
IPC (2件):
B66F 3/08 ,  H01L 21/68

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