特許
J-GLOBAL ID：200903038925739610
テラヘルツ波分光器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北澤 一浩 (外2名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2000004048
公開番号（公開出願番号）：WO2000-079248
出願日： 2000年06月21日
公開日（公表日）： 2000年12月28日
要約：
【要約】テラヘルツ波発生器から出射されサンプルを透過したテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出器に対して、その光スイッチ素子へのプローブ光の照射タイミングを、可変光遅延器の可動反射部を所定の振動周波数で駆動することによって、振動変化させる。この結果得られる周期的に振動変化する検出信号を、分光処理部のスペクトラムアナライザで周波数分析する。ここで、検出信号は、テラヘルツ波と同形・スケール変換された時間波形を有しているので、この検出信号を周波数分析することによって、テラヘルツ波についての周波数測定をリアルタイムで行うことができる。この結果、リアルタイムでの分光測定が可能となるとともに、装置構成が簡単化される。
請求項（抜粋）：
励起光を導くための所定の励起光学系と、 該所定の励起光学系で導かれた励起光によってテラヘルツ波を発生させるテラヘルツ波発生器と、 該テラヘルツ波発生器で発生されたテラヘルツ波を分光測定を行う試料へ導き、該試料で影響を受けた該テラヘルツ波を更に導くための所定のテラヘルツ波光学系と、 該励起光に対して同期されたプローブ光を導くための所定のプローブ光学系と、 該試料で影響を受け該テラヘルツ波光学系により導かれた該テラヘルツ波を、該所定のプローブ光学系で導かれたプローブ光によって検出し、検出信号を出力するテラヘルツ波検出器と、 該励起光学系及び該プローブ光学系のうちのいずれか一つに備えられ、対応する該励起光または該プローブ光の光路長を所定の振動周波数で振動させることによって、該テラヘルツ波発生器及び該テラヘルツ波検出器のうちの該いずれか一つへの該対応する励起光またはプローブ光の照射タイミングを周期的に振動させる光遅延振動手段と、 該テラヘルツ波検出器によって得られる検出信号に基づき該試料の分光測定を行う分光処理手段とを備え、該分光処理手段が、該振動周波数によって周期的に変化する該検出信号を周波数分析する周波数分析手段を備え、該周波数分析手段による周波数分析結果が、該試料の影響を受けた該テラヘルツ波の周波数分析情報を示し、もって、該試料の分光情報を示すことを特徴とする、テラヘルツ波を用いて分光測定を行うテラヘルツ波分光器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/35 Z
, G01N 22/00 M
