特許

J-GLOBAL ID：200903038931956844

圧電型加速度センサ、加速度検出方法、および圧電型加速度センサの製造方法

発明者： 藤井 覚 ,  神野 伊策 ,  鎌田 健 ,  高山 良一
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 大前 要
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-064733
公開番号（公開出願番号）：特開2000-002714
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】 所定の方向の加速度の検出や広ダイナミックレンジ化、広帯域化などが可能な加速度センサを得る。【解決手段】 加速度センサ201は縦効果型検出部203と横効果型検出部204とを備える。縦効果型検出部203は、錘を兼ねる成膜基板221に形成された薄膜の圧電体211aと電極211b,211cとから成る縦効果型圧電素子211を備える。横効果型検出部204は、成膜基板221に形成された薄膜の圧電体213aと電極213b,213cとから成る横効果型圧電素子213が、基板105に形成された溝状の凹部105aの上方付近に片持ち支持されるように設けられて成る。検出回路116は縦効果型検出部203および横効果型検出部204双方の出力に基づいて所定の方向の加速度等を検出する。

請求項（抜粋）：

第1の圧電体を有し、上記第1の圧電体の伸縮およびせん断変形に応じた電圧を出力する縦効果型圧電素子と、第2の圧電体を有し、上記第2の圧電体のたわみに応じた電圧を出力する横効果型圧電素子と、上記縦効果型圧電素子および上記横効果型圧電素子が固定されたセンサ基板とを備えたことを特徴とする圧電型加速度センサ。

IPC (5件)：

G01P 15/09 ,  G01L 1/16 ,  G01P 15/00 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (5件)：

G01P 15/09 ,  G01L 1/16 B ,  G01P 15/00 K ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/22 Z