特許
J-GLOBAL ID：200903038940853810
研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
八田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-086995
公開番号（公開出願番号）：特開平7-290355
出願日： 1994年04月25日
公開日（公表日）： 1995年11月07日
要約：
【要約】【目的】 研磨液が被研磨体の吸着側に回り込むことを確実に防止するとともに、サイズの異なる被研磨体にそのまま使用できる研磨装置を提供する。【構成】 被研磨体5を吸着保持する側の端面に、吸着するための吸引溝38,40と、該被研磨体5の外周端部近傍に対応する位置に形成されたエアによる押付圧が付与される押付溝37,39とが設けられたチャック手段21を有し、研磨液を供給しながら、前記チャック手段(21)により複数個の貫通孔が厚さ方向に形成されたブロック24を介して吸着保持された被研磨体(5) を、前記定盤(7) に向けて加圧しつつ相対的に摺動させて研磨を行う研磨装置である。また、前記押付溝37,39は、サイズの異なる複数の被研磨体5の外周端部近傍に対応する位置に、同心円状に複数箇所設けた。
請求項（抜粋）：
被研磨体(5) を吸着保持するチャック手段(21)と、該被研磨体(5) を保持した側に配置される表面に研磨布(6) が貼付された定盤(7) とを有し、研磨液を供給しながら、前記チャック手段(21)により吸着保持された被研磨体(5) を前記定盤(7) に向けて加圧しつつ相対的に摺動させて研磨を行う研磨装置において、前記チャック手段(21)は、被研磨体(5) を保持する側の端面に、該被研磨体(5) を吸着するための吸引溝(38、40) と、該被研磨体(5) の外周端部近傍に対応する位置に形成されたエアによる押付圧が付与される押付溝(37,39) とが設けられ、複数個の貫通孔(47)が厚さ方向に形成された円盤状のブロック(24)を介して、前記被研磨体(5) を吸着保持することを特徴とする研磨装置。
IPC (3件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
, H01L 21/68
