特許
J-GLOBAL ID：200903038946806873
パターン検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 朗 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-323480
公開番号（公開出願番号）：特開平5-157535
出願日： 1991年12月07日
公開日（公表日）： 1993年06月22日
要約：
【要約】【目的】 本発明はパターン検査方法に関し、スルーホールの孔と、ランドの両方を検査することによって欠陥検出の信頼性を向上したパターン検査方法を実現することを目的とする。【構成】 プリント板のパターンのランドに対するスルーホールの位置ずれを検査する検査方法であって、撮像装置により被検査ランド11を撮像し、その画像のスルーホール部分に円周出し用基準パターン13を重ね、その重なり部分の画像をAND回路14により抽出し、その抽出された画像の内周の長さを計測して良否を判定するように構成する。
請求項（抜粋）：
プリント板のパターンのランドに対するスルーホールの位置ずれによる欠陥を検査する検査方法であって、撮像装置により被検査ランド(11)を撮像し、その画像のスルーホール(12)部分に円周出し用基準パターン(13)を重ね、その重なり部分の画像をAND回路(14)により抽出し、その抽出された画像の内周の長さを計測して良否を判定することを特徴とするパターン検査方法。
IPC (2件)：
G01B 11/24
, G06F 15/62 405
