特許
J-GLOBAL ID：200903038947249625
酸素センサ-の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-162481
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015196
出願日： 1995年06月28日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：
【要約】【目的】微小な連続する空孔を備えた拡散律速層をもつ酸素センサ-を提供すること。【構成】ジルコニア粉末で形成した薄肉状の固体電解質層用シートである第2シート2の表裏に電極6、7を積層する。ジルコニア粉末に炭素粉末を混ぜた混合物で形成した薄肉状の拡散律速層形成用シート4を用い、シート4を電極6に被覆する。1450°C程度に焼成すると、シート4の炭素粉末が焼失して空孔が形成され、シート4が拡散律速層4Aとなる。大気導入孔3iに大気を、拡散律速層4Aに排気ガスを導入し、酸素濃度を検出する。
請求項（抜粋）：
酸素イオン透過性を備えた固体電解質層となる固体電解質層用シ-トと、該固定電解質層シ-トの両面にそれぞれ被覆された一対の電極と、一方の該電極に被覆された拡散律速層形成用シ-トとを備えた素子積層体を得る積層工程と、該素子積層体を焼成する焼成工程とを順に実施して酸素センサ-を製造する酸素センサ-の製造方法において、該素子積層体の拡散律速層形成用シ-トは炭素系粉末粒子を含有しており、該焼成工程において該炭素系粉末粒子を焼失させ、連続する空孔を形成し、該拡散律速層形成用シ-トを拡散律速層とすることを特徴とする酸素センサ-の製造方法。
FI (2件)：
G01N 27/46 325 L
, G01N 27/46 325 D
